招標(biāo)概要
氧化N型爐管設(shè)備1臺(tái)；8吋柵氧爐管設(shè)備1臺(tái)；8吋常壓退火PBY爐管設(shè)備1臺(tái)；8吋常壓退火NSD-AS爐管設(shè)備1臺(tái)；8吋BPSGReflow爐管設(shè)備1臺(tái)；包168吋D-POLY爐管設(shè)備3臺(tái)；8吋U-POLY爐管設(shè)備1臺(tái)；8吋LP_SIN爐管設(shè)備1臺(tái)；8吋LP_TEOS爐管設(shè)備1臺(tái)；包178吋KrFTrack機(jī)1臺(tái)；包188吋介質(zhì)刻蝕設(shè)備2臺(tái)；包19WAT自動(dòng)探針臺(tái)設(shè)備1臺(tái)；包20晶圓表面污染提...
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